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文檔簡介
1、超輻射發(fā)光二極管(SLD)的性能不同于半導(dǎo)體激光器和半導(dǎo)體發(fā)光二極管,它是最近十幾年發(fā)展起來的一種新型光電器件,是實(shí)現(xiàn)外腔式半導(dǎo)體激光器、光纖光柵激光器、半導(dǎo)體光放大器的關(guān)鍵元器件,在中、短程光纖通信,光纖陀螺,傳感計(jì)測和醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用。實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體超輻射發(fā)光管的關(guān)鍵技術(shù)是解決超輻射發(fā)光二極管芯端面超低反射率的增透膜技術(shù)問題。
本文研制的1310nm超輻射發(fā)光管是以GaAs晶體自然解理面為襯底材料,采取在芯片端
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