微波燒結(jié)ITO靶材研究.pdf

1、微波燒結(jié)具有節(jié)能、縮短燒結(jié)周期等一系列優(yōu)點(diǎn),獲得的材料表現(xiàn)出高致密度、組織均勻等特征,在近20年來(lái)備受關(guān)注。隨著現(xiàn)代工業(yè)向高效節(jié)能方向的發(fā)展,微波燒結(jié)將會(huì)有更為廣闊的應(yīng)用前景。ITO靶材作為制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜的材料,在軍用和民用領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。鑒于微波燒結(jié)的特殊優(yōu)勢(shì)和ITO靶材的重要價(jià)值,論文首次應(yīng)用微波燒結(jié)技術(shù)制備ITO靶材,并研究了微波燒結(jié)制備ITO靶材的工藝、致密化行為、以及靶材顯微組織,得到以下結(jié)論:
　　 (1)

2、微波燒結(jié)能快速制備高致密度、顯微組織均勻的的ITO靶材。研究發(fā)現(xiàn),靶材的相對(duì)密度隨著燒結(jié)溫度升高而增大;在1580℃進(jìn)行微波燒結(jié)時(shí),靶材的相對(duì)密度隨著保溫時(shí)間的延長(zhǎng)先增大后減小,在保溫1.5h時(shí)相對(duì)密度達(dá)到最大值(99.58％),高溫更長(zhǎng)時(shí)間燒結(jié)對(duì)ITO靶材的致密化不利。另外,微波燒結(jié)促進(jìn)了ITO靶材的致密化,即以更低的燒結(jié)溫度或更短的保溫時(shí)間均能獲得綜合性能較好的材料,是一種活化燒結(jié)模式。升溫速度是微波燒結(jié)的一個(gè)重要參數(shù),ITO靶材可

3、以在10-65℃/min升溫速度范圍內(nèi)燒結(jié)出相對(duì)密度和收縮率均較高的ITO靶材,而最佳升溫速度約為45℃/min;
　　 (2)在微波燒結(jié)制備ITO靶材的過(guò)程中,壓制壓力也有著重要的影響。壓坯和ITO靶材的密度均隨著壓制壓力的升高而增加,在壓制壓力為500MPa時(shí)達(dá)到最高。提高壓制壓力有利于靶材的致密化;在最佳的微波燒結(jié)工藝參數(shù)(1580℃×1.5h×500MPa)條件下,ITO靶材密度達(dá)到7.12g/cm3,與常規(guī)燒結(jié)(7.1