超聲表面波(LSAWs)法表征low-k薄膜楊氏模量的快速實現(xiàn).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在過去的幾十年間,集成電路的集成度依循摩爾定律呈指數(shù)規(guī)律升高,特征尺寸不斷減小?，F(xiàn)階段,互連線的RC延遲已經(jīng)遠超過門延遲,成為影響電路性能和速度的關(guān)鍵。為降低RC延遲,低介電常數(shù)(low-k)介質(zhì)的研究已成為微電子領(lǐng)域的重要課題,而低介電常數(shù)往往伴隨著較低的機械強度,極大影響了low-k材料作為互連線間介質(zhì)的應(yīng)用。
　　 本課題采用激光激發(fā)表面波(Laser-generated Surface Acoustic Waves,LS

2、AWs)方法檢測low-k材料的楊氏模量值,與傳統(tǒng)的納米壓痕法相比較,這一檢測技術(shù)具有準(zhǔn)確、快速、無損傷等優(yōu)點,適合于對超薄、低硬度、非致密薄膜材料進行在線檢測。
　　 LSAWs方法檢測楊氏模量時,采用激光照射low-k薄膜-襯底結(jié)構(gòu)樣片激發(fā)表面波信號并對其進行檢測和采集,依據(jù)表面波在分層介質(zhì)上傳播時發(fā)生頻散的特性,計算出它的頻散特性曲線。同時根據(jù)已建立的薄膜-襯底理論模型,計算對應(yīng)不同楊氏模量值時的理論頻散曲線,并通過匹配得

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