基于微石英晶振的掃描探針顯微技術(shù)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文系統(tǒng)地研究了微石英晶振的多功能掃描探針顯微技術(shù).其主要研究成果如下:采用微石英晶振作為微力傳感器來取代傳統(tǒng)的微懸臂和光學檢測裝置,通過對微石英晶振的測量機理的研究,建立了微石英晶振與樣品表面作用的動力學模型,得到了微石英晶振的振動特性和間距的關(guān)系曲線,并對精密表面樣品進行了檢測.在壓電陶瓷掃描器前粘附鋁管以擴大其掃描范圍,建立了壓電陶瓷掃描器的圓弧變形模型,得到了掃描范圍與陶管直徑、加長長度等的關(guān)系,從理論上分析了陶管掃描器的耦合誤

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