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文檔簡介
1、本文在對AFM的成像原理和AFM原子力作用機(jī)理的研究的基礎(chǔ)上，依據(jù)AFM微納米操作系統(tǒng)的高效性和實時性要求，設(shè)計了一個基于壓電陶瓷管和步進(jìn)電機(jī)的微納混合掃描平臺的控制系統(tǒng)，本掃描控制系統(tǒng)利用PC機(jī)作為控制器來控制壓電陶瓷平臺的納米級的移動，通過VC++軟件編程來控制平臺的微納米級移動，從而實現(xiàn)納米操作的實時性，高效性。然后，將本掃描控制系統(tǒng)應(yīng)用于本實驗室自主研制的原子力顯微鏡系統(tǒng)中，對微懸臂的形變量進(jìn)行檢測，從而得到樣品表面的微觀形貌。
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