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文檔簡介
1、微掃描鏡是微機電系統(tǒng)領(lǐng)域中一個嶄新的和引人注目的研究課題.其中,采用壓電陶瓷復(fù)合薄膜梁作為驅(qū)動元件的微掃描鏡,具有很高的響應(yīng)速度和較大的輸出應(yīng)力.該文討論了目前有關(guān)微機電系統(tǒng)建模與仿真的基本理論和方法,深入地分析了雙層壓電薄膜梁致動式微掃描鏡的工作原理,建立了微鏡多層壓電薄膜梁的機電耦合靜力學(xué)模型,推導(dǎo)出壓電懸臂梁和其它構(gòu)件的靜態(tài)變形方程.采用把鉸鏈因壓電形變而引起的應(yīng)力等效為作用在壓電梁上的載荷的方法,為復(fù)雜結(jié)構(gòu)微器件力學(xué)分析的研究開
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