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文檔簡介
1、針對磁盤微晶玻璃基板的超光滑表面對其基體材料和研磨表面的要求,該論文提出了解決微晶玻璃基板毛坯的晶化和獲取特殊研磨表面的基本觀點.該文概述了國內(nèi)外玻璃基板發(fā)展的現(xiàn)狀和存在的問題,闡述了雙面研磨的加工機理.該文提出了二步微晶化法方案作為微晶玻璃基板的最終的晶化處理工藝,并獲取了具有最佳機械強度的基板材料.在分析雙面研磨加工運動原理的基礎(chǔ)上,提出了微晶玻璃基板的具體研磨加工過程,即粗磨及精磨過程.通過散粒磨料和固著磨料雙面粗研磨加工試驗,研
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