EUV-X-ray光學元件傾斜度面形誤差檢測方法與測量儀器長軌面形儀(LTP)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、長春理工大學碩士學位論文EUVXray光學元件傾斜度面形誤差檢測方法與測量儀器長軌面形儀(LTP)的研究姓名：王春雨申請學位級別：碩士專業(yè)：光學工程指導教師：耿素杰周長新20031201ABSTRACTThetechnologyOiltheprocessinganddetectionoftheextrelneultravioletradiationandX—rayfEUV／X—raylopticalcomponentiSoneofthe

2、maincategoriesinmodernshort—wavebandopticalresearchAtpresentEUV／X—rayopticalcomponental’eingreatdemandontheconstructionoftherapidlydevelopedsynchrotronradiantlamp—houseandbeamoflightengineeringindevelopedcountriesNOWfeWc

3、ountrieshastheabilityofdevelopingthiskindofopticalcomponentwithsupersmoothsurfaceandhighprecisionandthekeytechnologyisprocessinganddetectingtechniquehrthispaper，theauthorstudythe111easurenlentmethodandinstrumentoftheEUV／

4、X—rayopticalcomponent，improvethedesignofthemeasuringapparatus—loilgtraceprofiler【j“Ialreadyexisting，provideakindofnewlylongtraceprofilerLTI’一111，whichisusedtomeasnl‘etheslopeerrorAtlastseveralassumptionsareofferedontheim

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