基于結(jié)構(gòu)光投影的光學(xué)面形測量方法研究.pdf

1、該文深入探討了一種簡單的光學(xué)面形測量方法,即基于結(jié)構(gòu)光投影的光學(xué)面形測量方法.這種方法的要點(diǎn)是:利用PC機(jī)顯卡的雙屏功能,其中一個(gè)顯示由計(jì)算機(jī)產(chǎn)生的正弦灰度調(diào)制條紋圖樣,CCD記錄下標(biāo)準(zhǔn)條紋圖樣以及由待測光學(xué)表面物體引起的變形條紋圖樣,由此計(jì)算出待測物體引起的變化相位,控制計(jì)算機(jī)產(chǎn)生豎直和水平兩個(gè)方向正弦條紋,分別測量到兩個(gè)方向的變化相位;根據(jù)非相干光成像原理推導(dǎo)出光學(xué)面形梯度與變化相位的對應(yīng)關(guān)系,然后通過數(shù)值積分重建所測面形,從而完成

2、對光學(xué)面形的測量.由于條紋為計(jì)算機(jī)產(chǎn)生,因此可以靈活方便地調(diào)節(jié)條紋的方向和周期,從而靈活地調(diào)節(jié)測量精度,并且可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確相移.該文分別研究了兩種光學(xué)面形,即透明相位物體波前測量以及反射面形測量,解決了相位展開以及面形重建等關(guān)鍵技術(shù)問題.計(jì)算機(jī)模擬和實(shí)際測量驗(yàn)證了該方法的可行性.與傳統(tǒng)的干涉計(jì)量相比較,該方法具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低、靈活性高等優(yōu)點(diǎn),特別適用于非球面光學(xué)面形和波前變化范圍較大的光學(xué)面形測量.并且可以預(yù)計(jì)隨著顯示屏和探測器分辨率