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1、伴隨著動(dòng)態(tài)測(cè)量技術(shù)的不斷發(fā)展,在精密工程領(lǐng)域,對(duì)測(cè)量系統(tǒng)和測(cè)量?jī)x器的動(dòng)態(tài)測(cè)量精度要求也愈來(lái)愈高。為了提高設(shè)備精度,必須了解設(shè)備動(dòng)態(tài)測(cè)量誤差,動(dòng)態(tài)誤差已經(jīng)成為精度理論研究中迫切需要解決的課題。
本文以多功能動(dòng)態(tài)精度實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)作為研究對(duì)象,研究動(dòng)態(tài)誤差的建模,分解與溯源的理論與方法。
系統(tǒng)以伺服電機(jī)作為整個(gè)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)裝置,以電機(jī)內(nèi)置編碼器的輸出信號(hào)作為動(dòng)態(tài)測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)量,并與同步采集的圓光柵信號(hào)、長(zhǎng)光柵信號(hào)進(jìn)行比較,利用數(shù)據(jù)
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