標(biāo)樣氣體進樣系統(tǒng)性能研究.pdf

1、“標(biāo)樣氣體進樣系統(tǒng)”用于分壓力質(zhì)譜計的校準，可配制標(biāo)樣氣體并向質(zhì)譜校準室中進樣，是質(zhì)譜計校準技術(shù)的一個重要組成部分。 本文主要對“標(biāo)樣氣體進樣系統(tǒng)”的性能進行了深入系統(tǒng)的研究。由于將標(biāo)樣混合氣體引入校準室時，一方面小孔的流導(dǎo)隨氣體成分、氣體流動狀態(tài)的不同而不同，另一方面抽氣泵對不同種類氣體的抽速也是不同的，這樣會使校準室中混合氣體的比例與標(biāo)樣混合氣體的比例產(chǎn)生差異，而“標(biāo)樣氣體進樣系統(tǒng)”采用了獨特的雙小孔進樣，在分子流進樣條件下

2、，進樣前后氣體的成分比例不會改變，保證了分壓力質(zhì)譜計校準的要求。 本文研究了標(biāo)樣氣體進樣系統(tǒng)配樣、進樣和校準原理，以及采用單一氣體和混合氣體、單孔材料進樣和多孔材料進樣對系統(tǒng)性能進行了研究，給出靈敏度*和相對靈敏度隨進樣室壓力變化的曲線，并對試驗結(jié)果進行了分析和討論。通過比較單一氣體和混合氣體進樣，結(jié)果發(fā)現(xiàn)四極質(zhì)譜計用單一氣體校準的靈敏度*與混合氣體校準的靈敏度是不同的，所以用四極質(zhì)譜計精確測量分壓力之前，必須要用相應(yīng)的氣體進行