標樣氣體進樣系統(tǒng)性能研究.pdf

1、“標樣氣體進樣系統(tǒng)”用于分壓力質譜計的校準，可配制標樣氣體并向質譜校準室中進樣，是質譜計校準技術的一個重要組成部分。 本文主要對“標樣氣體進樣系統(tǒng)”的性能進行了深入系統(tǒng)的研究。由于將標樣混合氣體引入校準室時，一方面小孔的流導隨氣體成分、氣體流動狀態(tài)的不同而不同，另一方面抽氣泵對不同種類氣體的抽速也是不同的，這樣會使校準室中混合氣體的比例與標樣混合氣體的比例產生差異，而“標樣氣體進樣系統(tǒng)”采用了獨特的雙小孔進樣，在分子流進樣條件下

2、，進樣前后氣體的成分比例不會改變，保證了分壓力質譜計校準的要求。 本文研究了標樣氣體進樣系統(tǒng)配樣、進樣和校準原理，以及采用單一氣體和混合氣體、單孔材料進樣和多孔材料進樣對系統(tǒng)性能進行了研究，給出靈敏度*和相對靈敏度隨進樣室壓力變化的曲線，并對試驗結果進行了分析和討論。通過比較單一氣體和混合氣體進樣，結果發(fā)現(xiàn)四極質譜計用單一氣體校準的靈敏度*與混合氣體校準的靈敏度是不同的，所以用四極質譜計精確測量分壓力之前，必須要用相應的氣體進行