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文檔簡介
1、多孔硅(PS)是近年來發(fā)展起來的一種新型硅基材料,具有與單晶硅材料大不相同的特性,例如,多孔硅可在近紅外和可見,甚至近紫外區(qū)輻射強烈的熒光,使得它可用來制造發(fā)光器件,并可望在解決光電子集成電子學的關鍵問題,為制造帶有光源的大規(guī)模集成電路等方面開辟新的途徑.該文在用三種電阻率的n型硅片為基底制成室溫紫外燈下發(fā)強橙光的多孔硅基礎上,對多孔硅進行三種表面修飾,實現(xiàn)了多孔硅的紅、綠、藍光發(fā)射,并對其發(fā)光機理進行了探討.系統(tǒng)研究了陽極氧化條件對n
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