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1、指導(dǎo)小組成員：吳曉京教授張聽副教授25電阻開關(guān)過程中的導(dǎo)電路徑2026集成前精213本論文的選題意義和研究內(nèi)容23參考文獻(xiàn)25第二章Cu／Ta／Si02／Si多層膜納米壓入與壓痕F微觀結(jié)構(gòu)的研究32212223銅互連體系的可靠性問題與力學(xué)特性32納米壓入實(shí)驗(yàn)方法33實(shí)驗(yàn)過程35231樣品制備35232納米壓入實(shí)驗(yàn)36233壓痕F微觀結(jié)構(gòu)的研究3724實(shí)驗(yàn)結(jié)果及討論3824I壓痕形貌38242硬度與彈性模量～39243壓痕下方的微觀結(jié)構(gòu)4
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