真空微電子觸覺(jué)傳感器陣列的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、該文作者在縱觀了機(jī)器人傳感器技術(shù),MEMS技術(shù),真空微電子傳感器技術(shù)的發(fā)展概況之后,認(rèn)識(shí)到機(jī)器人傳感技術(shù)的主要發(fā)展方向是由單一傳感轉(zhuǎn)向陣列傳感,融合式傳感,智能傳感,微型傳感.特別是能耐高低溫、抗輻射、高速度、低功耗、低電壓、高密度、高精度的觸覺(jué)傳感器的研究顯得更為迫切.該文首次創(chuàng)造性地提出利用MEMS技術(shù)、微電子技術(shù)和真空電子技術(shù)相結(jié)合的方法,將硅微場(chǎng)致發(fā)射陰極錐尖陣列,真空微腔,仿人肌膚陽(yáng)極膜構(gòu)成的觸覺(jué)敏感元以高密度的方式與信號(hào)讀出

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