納米級六自由度微動工作臺超精定位控制方法的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩75頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、納米級定位控制系統中驅動元件的選擇和使用直接影響著控制系統的最終性能指標.壓電陶瓷驅動器以其體積小,重量輕,精度和位移分辨率高等優(yōu)點成為目前最有前途的驅動器件之一.但是,壓電陶瓷驅動器所固有的遲滯、蠕變等特性制約著該種器件的發(fā)展.該研究選用了性能穩(wěn)定的硬性鎢青銅型壓電陶瓷驅動器作為驅動元件,從壓電陶瓷驅動器遲滯產生的微觀機理入手,通過對比硬性鎢青銅型壓電陶瓷驅動器和軟性鈣鈦礦型壓電陶瓷驅動器的晶體結構,研制出壓電陶瓷驅動器抗遲滯驅動方法

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論