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文檔簡介
1、本文在收集大量微位移工作臺方面資料的基礎上，對國內外的研究現狀做了介紹；對常用的微位移系統(tǒng)中機構和驅動器做了闡述和比較；還對微位移系統(tǒng)的評價標準和柔性鉸鏈的應用場合做了較全面的總結。 第二章中，采用了具有單一方向運動而無耦合運動的柔性鉸鏈雙平行四桿微位移機構和柔性鉸鏈單平行四桿微位移機構，制定出了一種三自由度（）工作臺的設計方案。第三章對常用的柔性鉸鏈進行了分類，并對本文設計所選用的雙曲余弦柔性鉸鏈進行了剛度推導；得出了結構參數
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