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文檔簡介
1、目前，對于小容積氣體壓力的控制多用傳感器的反饋信號來控制執(zhí)行機構進行動作，這種方法一方面壓力控制的精度不高，另一方面容易出現(xiàn)超調(diào)和調(diào)節(jié)超時的現(xiàn)象。當系統(tǒng)在高壓超高壓的環(huán)境下工作時，這種問題會更加嚴重，針對以上的問題本文對小容腔的高壓超高壓控壓技術進行了研究。
首先基于范德瓦爾方程對氣體的流動特性進行了分析，建立了容腔的充放氣數(shù)學模型，并對系統(tǒng)的氣路部分進行了設計。本文采取二次增壓的方式，壓力輸出范圍為15-180MPa。在第二
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