平穩(wěn)背景下器件成像多余物檢測技術(shù).pdf

1、局限于我國現(xiàn)階段的工業(yè)生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)環(huán)境，高可靠器件的生產(chǎn)過程中，難免會將各種不屬于該器件的多余物封裝在器件內(nèi)部，而形成器件多余物?，F(xiàn)階段對于多余物檢測技術(shù)的研究主要集中于PIND 粒子撞擊檢測法等方法。本文以人眼視覺顯著性理論為支撐，將多余物分類為簡單背景下多余物和復(fù)雜背景下多余物,提出了基于器件圖像顯著幾何基元特征識別配準的多余物成像檢測新方法。
　　 本文主要工作包括如下：（1）提出了多余物成像檢測系統(tǒng)的七層模型如下：圖像

2、輸入、圖像分類、圖像顯著幾何形狀提取、特征提取、幾何基元/區(qū)域匹配、圖像配準/校正和多余物檢測七個層次。（2）依據(jù)多余物成像檢測七層模型，完成了多余物成像檢測系統(tǒng)設(shè)計。（3）針對三種典型的器件模型：非金屬四邊形器件、非金屬圓形器件、以及顯著單直線器件，依據(jù)多余物檢測七層模型，本文主要研究了三種多余物成像檢測模式，圓模式、顯著單直線模式和直線集合模式。其中，檢測模式主要涉及的算法包括圖像顯著幾何基元的提取算法，圖像區(qū)域分割算法以及圖像配準