子波面掃描法長(zhǎng)焦距透鏡波面檢測(cè)系統(tǒng)研究.pdf

1、大口徑長(zhǎng)焦距透鏡是超大功率激光系統(tǒng)的重要組成原件，研究對(duì)其進(jìn)行像質(zhì)檢測(cè)的系統(tǒng)對(duì)解決如今日益嚴(yán)峻的能源問(wèn)題有著重要的意義。但如今仍沒(méi)有對(duì)其進(jìn)行行之有效的檢測(cè)方法。為了解決這個(gè)問(wèn)題，本文提出一種通過(guò)子孔徑掃描的方法對(duì)大口徑長(zhǎng)焦距透鏡進(jìn)行檢測(cè)的新方案，并在完成了檢測(cè)裝置的設(shè)計(jì)、安裝和調(diào)試，最終成功完成了波面檢測(cè)。
　　 該方案主要可以分為兩個(gè)步驟。第一步通過(guò)子孔徑波面掃描，對(duì)朗奇光柵利用泰伯效應(yīng)產(chǎn)生的莫爾條紋進(jìn)行采集，運(yùn)用數(shù)字圖像處理

2、的方法，獲取子孔徑的波面斜率數(shù)據(jù)；第二步對(duì)波面數(shù)據(jù)進(jìn)行以澤尼克多項(xiàng)式為基底的模式法重構(gòu)，從而獲取大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的全口徑波面。在測(cè)量裝置的實(shí)際制作中，結(jié)合實(shí)際測(cè)量情況，兼顧測(cè)量精度和工程化，提出回程驗(yàn)算、迭代重構(gòu)等多種有效的方案控制實(shí)際測(cè)量的精度，提高了數(shù)據(jù)的可靠性、穩(wěn)定性。
　　 干涉儀由于受到裝置、場(chǎng)地的限制，一般對(duì)于很長(zhǎng)焦距的透鏡無(wú)法測(cè)量。為了對(duì)本測(cè)試裝置測(cè)試結(jié)果進(jìn)行驗(yàn)證，選用一個(gè)焦距10m左右的平凸透鏡(仍能用干涉儀進(jìn)行