石英音叉諧振器熱敏機(jī)理的研究.pdf

1、諧振是一種不僅在單純的機(jī)械、化學(xué)、光、電、磁系統(tǒng)中存在,而且在各種涉及上述多個能量域之間相互能量轉(zhuǎn)換過程的系統(tǒng)中廣泛存在的現(xiàn)象。諧振式傳感器工作在系統(tǒng)的諧振狀態(tài),此時系統(tǒng)以最低的損耗維持輸入能量,而對于工作于諧振狀態(tài)的敏感系統(tǒng),環(huán)境參數(shù)的微量變化對系統(tǒng)特性參數(shù)的調(diào)制作用得到增強(qiáng),因此利用諧振器制成的傳感器具有功耗低、輸出信號的信噪比高、抗干擾性強(qiáng)等諸多優(yōu)點。隨著數(shù)字電路技術(shù)的迅速發(fā)展和廣泛應(yīng)用,諧振器成為傳感技術(shù)領(lǐng)域中非常重要的研究方向

2、。而石英音叉諧振器是現(xiàn)有諧振器中性能優(yōu)勢比較優(yōu)良的一種,它的合理尺寸、低功耗、輸出數(shù)字信號等優(yōu)點,使其能夠適應(yīng)該領(lǐng)域研究未來的發(fā)展,因此,石英音叉諧振器成為當(dāng)今國際研究的熱點之一。
　　 本文主要針對石英音叉諧振器的諧振機(jī)理、有限元仿真和熱敏特性等方面展開,對石英音叉諧振器進(jìn)行研究。首先對石英音叉諧振器的振動模式進(jìn)行了分析,討論了使石英音叉諧振器產(chǎn)生彎曲振動的機(jī)理。然后通過公式推導(dǎo)建立了石英音叉諧振器的有限元數(shù)學(xué)模型,同時選用有