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文檔簡介
1、MEMS諧振器具有體積小、成本低、可與電路集成等優(yōu)點,是下一代通信系統(tǒng)的熱門研究對象。MEMS諧振器可以滿足通訊射頻領(lǐng)域的各項需求,因此它在市場上極具競爭力,目前已廣泛用于網(wǎng)絡(luò)、通訊、汽車和工業(yè)設(shè)備中。
本文在對大量文獻進行調(diào)研的基礎(chǔ)上,首先分析了國內(nèi)外MEMS諧振器發(fā)展現(xiàn)狀,其次列舉了目前MEMS諧振器的結(jié)構(gòu),闡述了它的工作原理,并對其關(guān)鍵參數(shù)進行系統(tǒng)的研究,采用ADS射頻仿真軟件對諧振器電學(xué)特性進行模擬分析,為MEMS
2、諧振器的理論分析奠定基礎(chǔ)。利用COMSOL Multiphsics軟件對MEMS諧振器進行模擬仿真,對不同尺寸、不同結(jié)構(gòu)諧振器進行比較分析,討論了諧振器的諧振頻率與結(jié)構(gòu)尺寸的關(guān)系。對雙端固支梁式與圓盤式諧振器的壓膜阻尼效應(yīng)進行模擬分析,得出壓膜阻尼與結(jié)構(gòu)的關(guān)系。最后對MEMS諧振器工藝進行研究,分別基于Si襯底和SOI襯底設(shè)計兩種工藝方案。本文對MEMS諧振器各項參數(shù)的模擬分析可以優(yōu)化諧振器設(shè)計,提高諧振器性能,對MEMS諧振器設(shè)計有重
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