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文檔簡介
1、本文主要采用原子層沉積(ALD)/分子層沉積(MLD)技術(shù)制備無機(Al2O3)/有機(alucone)交疊結(jié)構(gòu)的封裝薄膜,對頂發(fā)射有機電致發(fā)光器件(TEOLED)進行封裝。由于封裝TEOLED器件的特殊性,要求封裝薄膜在保證封裝性能的同時,具有較高的光學透過率,能夠提高器件的光取出量。研究了ALD生長條件對無機薄膜的影響,通過改變生長溫度及反應前驅(qū)體,提高無機薄膜性能。實驗所制備 Al2O3/alucone復合結(jié)構(gòu)的封裝薄膜,通過精確
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