版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、Al2O3薄膜因其光學(xué)性能優(yōu)良、機(jī)械強(qiáng)度高、透明性與絕緣性好、耐磨損、抗腐蝕、有較高的抗激光損傷閾值及化學(xué)性能穩(wěn)定等特點(diǎn),近年來(lái)倍受?chē)?guó)內(nèi)外關(guān)注,已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于光學(xué)、機(jī)械及微電子等領(lǐng)域。
目前制備Al2O3薄膜的方法很多,常用的制備方法有:電子束物理氣相沉積、磁控濺射沉積、脈沖激光沉積、離子輔助沉積、化學(xué)氣相沉積、溶膠凝膠法等。然而濺射工藝參數(shù)的選取以及沉積的薄膜結(jié)構(gòu)和性能是人們主要關(guān)注的課題。
本文使用反應(yīng)
2、磁控濺射的方法,利用氧氣和氬氣混合氣體在K9玻璃和Si基底上沉積Al2O3薄膜,根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中牢固度的測(cè)量要求:用2cm寬剝離強(qiáng)度不小于2.74N/cm膠帶牢牢粘在膜層表面上,垂直迅速拉起后,無(wú)脫膜現(xiàn)象,薄膜牢固性良好。同時(shí)研究和分析了各工藝參數(shù)對(duì)Al2O3薄膜沉積速率的影響。利用橢偏儀測(cè)試及分析了薄膜的光學(xué)性能。測(cè)試表明:氬氣在45sccm的情況下,氧氣的最小流量為18sccm,制備的Al2O3薄膜在可見(jiàn)光范圍內(nèi),折射率在1.62左右
3、,消光系數(shù)在0~1.0×10-3,沉積速率0.07nm/s。使用XRD分析薄膜晶體結(jié)構(gòu),發(fā)現(xiàn)本實(shí)驗(yàn)方法所沉積的薄膜在未退火情況下為非晶態(tài),并分析不同工藝參數(shù)對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)的影響。利用SEM觀測(cè)Al2O3薄膜的表面形貌,觀察工藝參數(shù)的改變對(duì)薄膜形貌的影響。使用XPS對(duì)Al2O3薄膜成分進(jìn)行分析,薄膜中Al:O比位于2:3附近,得到了較純的Al2O3薄膜。結(jié)果表明:Al2O3薄膜沉積速率、光學(xué)特性,以及抗激光損傷特性對(duì)氧氣濃度、靶功率,濺射氣壓
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 射頻磁控濺射法制備ZrW-,2-O-,8-、Al-,2-O-,3-及其復(fù)合薄膜的研究.pdf
- 磁控濺射法制備Si摻雜ZnO薄膜及Al-,2-O-,3-包埋Si納米晶薄膜.pdf
- 射頻反應(yīng)磁控濺射法制備Al-,2-O-,3-薄膜結(jié)構(gòu)與性能的研究.pdf
- 納米Al-,2-O-,3-堿性化學(xué)復(fù)合鍍鎳的研究.pdf
- Al-,2-O-,3-溶膠的制備及其應(yīng)用研究.pdf
- ρ-Al-,2-O-,3-結(jié)合Al-,2-O-,3-—MgO質(zhì)澆注料組成、結(jié)構(gòu)與性能研究.pdf
- Al-,2-O-,3-雜化聚酰亞胺薄膜Al含量測(cè)試方法研究.pdf
- α-Al-,2-O-,3-煅燒工藝的研究.pdf
- Al-,2-O-,3-氣凝膠的制備及其表征.pdf
- 納米γ-Al-,2-O-,3-的制備研究.pdf
- 稀土共摻雜Al-,2-O-,3-薄膜發(fā)光性能及其結(jié)構(gòu)的研究.pdf
- 超細(xì)Al-,2-O-,3-粉、Al-,2-O-,3-陶瓷、透明陶瓷材料的制備與性能研究.pdf
- Al-,2-O-,3-透明陶瓷制備及摻Cr和Ti的Al-,2-O-,3-激光陶瓷光譜性能研究.pdf
- 溶膠凝膠Al-,2-O-,3-薄膜鈍化p型硅特性研究.pdf
- α-Al-,2-O-,3-超微粉及Al-,2-O-,3--Ni復(fù)合材料的制備與性能研究.pdf
- ZnO-α-Al-,2-O-,3-(0001)薄膜生長(zhǎng)初期的模擬研究.pdf
- 摻Er光波導(dǎo)Al-,2-O-,3-薄膜的微觀狀態(tài)研究.pdf
- ZrO-,2--γ-Al-,2-O-,3-和La-,2-O-,3--γ-Al-,2-O-,3-催化香茅醛MPV還原為香茅醇的初步研究.pdf
- Ni-P-納米Al-,2-O-,3-復(fù)合鍍工藝與鍍層性能研究.pdf
- ZrO-,2--γ-Al-,2-O-,3-和La-,2-O-,3--γ-Al-,2-O-,3-的酸堿性質(zhì)對(duì)香茅醛MPV反應(yīng)的影響.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論