氮化硼陶瓷晶粒尺寸和晶型對力學及抗濺射性能的影響.pdf

1、本文將行星球磨后h-BN粉體進行熱壓燒結，通過調節(jié)保溫時間和熱壓燒結的溫度，制得了不同晶粒尺寸的h-BN陶瓷。用h-BN和c-BN粉體分別和熔石英進行熱壓燒結，制備了h-BN/SiO2和c-BN/SiO2復合材料。利用XRD、SEM等分析手段表征了材料的物相以及微觀形貌；利用萬能試驗機研究h-BN陶瓷的力學性能；通過離子濺射實驗，研究了h-BN陶瓷抗離子濺射性能，分析了濺射后材料表面的物相、粗糙度、微觀形貌的特征，并對材料的濺射機理進行

2、了探索。
　　研究表明，在保溫相同時間的條件下，隨著熱壓燒結溫度的提高，h-BN陶瓷的晶粒尺寸逐漸變大，從在1600℃保溫0.5h時的0.5μm增長到在1900℃保溫0.5h時的4μm。在燒結溫度相同的條件下，隨著保溫時間的增加，h-B N陶瓷的晶粒尺寸也逐漸增加，從在1800℃保溫1h的4μm增長到在1800℃保溫5h時的8μm。
　　隨著h-BN陶瓷材料晶粒尺寸的增加，其抗彎強度有明顯的降低，其關系符合Hall-Petc

3、h公式。晶粒尺寸為0.5μm時h-BN陶瓷的彈性模量、抗彎強度和斷裂韌性最高，分別為50.1GPa、163.5MPa、和2.85 MPa?m1/2。
　　在不同離子能量相同濺射時間和相同離子能量不同濺射時間的濺射條件下，h-BN陶瓷材料的抗離子濺射特性都隨著晶粒尺寸的增加而逐漸變差，表面粗糙度和濺射侵蝕速率隨晶粒尺寸的增加而逐漸增加。h-BN陶瓷的濺射侵蝕速率隨濺射時間增加而降低，但是隨著濺射能量的增加而增加。
　　分別采用