亞波長金屬光柵偏振特性及制作工藝研究.pdf

1、亞波長金屬光柵引起人們廣泛的研究興趣，其周期小于工作波長而具有特殊的衍射光場。亞波長金屬光柵對入射光中的TM模高透射且對TE模高反射，具有良好的偏振性能，且其具有體積小、光譜寬、易集成等傳統(tǒng)光柵器件不具有的優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于眾多領(lǐng)域。
　　本文研究了應(yīng)用于新型相機中的金屬光柵偏振片，重點研究了一維亞波長金屬光柵的結(jié)構(gòu)參數(shù)對其偏振性能的影響，并探索了其制作工藝，為其在實際應(yīng)用中提供了可靠的理論依據(jù)和實驗基礎(chǔ)。本論文主要做了以下幾個方

2、面的研究：
　　首先，對光柵的結(jié)構(gòu)進行了優(yōu)化設(shè)計。介紹了亞波長光柵基于麥克斯韋方程組解的兩種數(shù)值計算方法：時域有限差分法(FDTD)和嚴(yán)格耦合波法(RCWA)。利用以這兩種算法為核心的軟件Rso ft，仿真計算了亞波長金屬光柵的各個結(jié)構(gòu)參數(shù)對其偏振特性的影響，得出了優(yōu)化的結(jié)構(gòu)參數(shù)。
　　其次，進行了亞波長金屬光柵的基本的制作工藝研究。創(chuàng)新點為：用一層硅掩膜來分別改善金屬刻蝕工藝中兩個難題，刻蝕殘留物難移除及傳統(tǒng)的光刻膠掩膜不