金屬光柵偏振器設(shè)計(jì)及其工藝仿真.pdf

1、本文采用微納偏振敏感陣列模擬沙蟻復(fù)眼的構(gòu)想，仿造沙蟻復(fù)眼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)制作微型偏振器，使具有高靈敏度、高精度、低功耗、微體積的仿生視覺傳感器的研制成為可能。主要研究內(nèi)容為金屬光柵偏振器的設(shè)計(jì)仿真及加工工藝的研究。這種偏振器件的研究為微納導(dǎo)航系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)奠定了基礎(chǔ)。
　　 針對仿生微納導(dǎo)航系統(tǒng)敏感波段380～520nm的要求，采用嚴(yán)格耦合波理論設(shè)計(jì)了一種新型透射式金屬光柵偏振器。在垂直入射條件時(shí)，入射波長為450nm，本文設(shè)計(jì)的光柵的TM

2、透射效率大于62.8％，消光比大于474。數(shù)值計(jì)算和理論分析表明，本文設(shè)計(jì)的金屬光柵偏振器是一種寬帶寬、高TM透射效率和高消光比的偏振器件。建立了金屬鋁光柵表面具有氧化層的的模型，分析了氧化層對偏振光柵性能的影響。此外，利用嚴(yán)格耦合波理論分析了方向誤差和面形誤差對亞波長光柵透射效率的影響。
　　 采用有限元方法并借助ANSYS軟件對熱壓印過程中聚合物填充過程進(jìn)行模擬，并且對影響聚合物填充過程的因素進(jìn)行分析，詳細(xì)分析了深寬比、凹槽