基于FBAR的微質(zhì)量傳感器的設(shè)計(jì)及應(yīng)用技術(shù)研究.pdf

1、無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)是目前國(guó)際上一個(gè)前沿?zé)狳c(diǎn)研究領(lǐng)域。它的學(xué)科交叉性強(qiáng),知識(shí)集成度高,受關(guān)注程度也很高。傳感器網(wǎng)絡(luò)中的各個(gè)節(jié)點(diǎn)要求體積小、功耗低、靈敏度高、可靠性強(qiáng),這些性能均可由 FBAR實(shí)現(xiàn)。但是相對(duì)其他較成熟的應(yīng)用而言,FBAR作為質(zhì)量傳感器的研究與應(yīng)用起步相對(duì)較晚,故此還有很大的研究?jī)r(jià)值。
　　本文首先用實(shí)驗(yàn)室方法制備得到了基于Bragg反射層結(jié)構(gòu)的FBAR,獲得了比較理想的阻抗特性。結(jié)合 FBAR的特點(diǎn)與現(xiàn)有的實(shí)驗(yàn)條件,為FB

2、AR設(shè)計(jì)了一套 SOLT微波測(cè)量裝置,能免去探針臺(tái)直接在PCB上測(cè)試 FBAR的性能,且測(cè)量結(jié)果有良好精確度,為開(kāi)展各項(xiàng)實(shí)驗(yàn)提供有利條件。同時(shí)利用測(cè)量數(shù)據(jù)提取了FBAR等效模型 MBVD中各個(gè)參數(shù)的實(shí)際值,并建立了相應(yīng)的ADS元件庫(kù),能將FBAR直接放入電路進(jìn)行仿真,有效地降低后續(xù)電路設(shè)計(jì)難度與仿真時(shí)間。
　　本文針對(duì)制得的FBAR器件設(shè)計(jì)并成功制作了微質(zhì)量傳感器系統(tǒng),采用差頻計(jì)數(shù)的方式檢測(cè)諧振器的諧振頻率變化。整個(gè)系統(tǒng)包含兩路微