超寬帶低損耗聲表面波濾波器設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、寬帶低損耗聲表面波濾波器設(shè)計主要采用了傾斜叉指換能器、單向單相周期結(jié)構(gòu)和叉指換能器電容加權(quán)三項設(shè)計技術(shù)實現(xiàn)，可以滿足目前信號帶寬寬，插入損耗低，封裝體積小的要求。本課題在寬帶低損耗聲表面波濾波器設(shè)計方法、精確建模以及工藝實現(xiàn)三個方面做了系統(tǒng)的研究開發(fā)工作，到目前已取得了很大的進(jìn)步，實現(xiàn)了該類濾波器自主設(shè)計和批量生產(chǎn)。
　　聲表面波濾波器設(shè)計制造中所采用的精確物理模型是仿真和指導(dǎo)工藝生產(chǎn)的關(guān)鍵。對于寬帶低損耗聲表面波濾波器的設(shè)計而言

2、，理論設(shè)計工作中的核心問題就是精確物理模型的建立。本文中，通過近似理論得到初始的加權(quán)結(jié)構(gòu)（即實際的物理結(jié)構(gòu)），在此基礎(chǔ)上進(jìn)行建模，然后采用COM模型或FEM/BEM模型的分析方法，在周期性的換能器結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上對整個換能器單元進(jìn)行分析優(yōu)化，得到最佳的幾何尺寸，該結(jié)構(gòu)較常規(guī)結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)更好的電性能。COM模型分析方法和
　　FEM/BEM模型分析方法是本文也是聲表面波濾波器設(shè)計的關(guān)鍵技術(shù)，綜合了Plessky的周期格林函數(shù)思想、Y. Z

3、hang的諧波導(dǎo)納思想和Hashimoto的離散格林函數(shù)思想，同時借鑒了Ventura對周期格林函數(shù)計算的改進(jìn)以及水永安利用周期格林函數(shù)理論實現(xiàn)的金屬柵格陣下聲表面波傳播特性的精確而高速的數(shù)值計算方法，開發(fā)出了適合寬帶低損耗聲表面波濾波器建模設(shè)計的分析方法，在精度和速度上都能滿足實際應(yīng)用的需求。
　　在寬帶低損耗聲表面波的制作工藝上，除了完成該類濾波器制作工藝問題研究，還在該類濾波器可靠性問題的研究上做了實驗和驗證，完成了粘片膠特