超寬帶低損耗聲表面波濾波器設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、寬帶低損耗聲表面波濾波器設(shè)計(jì)主要采用了傾斜叉指換能器、單向單相周期結(jié)構(gòu)和叉指換能器電容加權(quán)三項(xiàng)設(shè)計(jì)技術(shù)實(shí)現(xiàn)，可以滿足目前信號(hào)帶寬寬，插入損耗低，封裝體積小的要求。本課題在寬帶低損耗聲表面波濾波器設(shè)計(jì)方法、精確建模以及工藝實(shí)現(xiàn)三個(gè)方面做了系統(tǒng)的研究開發(fā)工作，到目前已取得了很大的進(jìn)步，實(shí)現(xiàn)了該類濾波器自主設(shè)計(jì)和批量生產(chǎn)。
　　聲表面波濾波器設(shè)計(jì)制造中所采用的精確物理模型是仿真和指導(dǎo)工藝生產(chǎn)的關(guān)鍵。對(duì)于寬帶低損耗聲表面波濾波器的設(shè)計(jì)而言

2、，理論設(shè)計(jì)工作中的核心問題就是精確物理模型的建立。本文中，通過近似理論得到初始的加權(quán)結(jié)構(gòu)（即實(shí)際的物理結(jié)構(gòu)），在此基礎(chǔ)上進(jìn)行建模，然后采用COM模型或FEM/BEM模型的分析方法，在周期性的換能器結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上對(duì)整個(gè)換能器單元進(jìn)行分析優(yōu)化，得到最佳的幾何尺寸，該結(jié)構(gòu)較常規(guī)結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)更好的電性能。COM模型分析方法和
　　FEM/BEM模型分析方法是本文也是聲表面波濾波器設(shè)計(jì)的關(guān)鍵技術(shù)，綜合了Plessky的周期格林函數(shù)思想、Y. Z

3、hang的諧波導(dǎo)納思想和Hashimoto的離散格林函數(shù)思想，同時(shí)借鑒了Ventura對(duì)周期格林函數(shù)計(jì)算的改進(jìn)以及水永安利用周期格林函數(shù)理論實(shí)現(xiàn)的金屬柵格陣下聲表面波傳播特性的精確而高速的數(shù)值計(jì)算方法，開發(fā)出了適合寬帶低損耗聲表面波濾波器建模設(shè)計(jì)的分析方法，在精度和速度上都能滿足實(shí)際應(yīng)用的需求。
　　在寬帶低損耗聲表面波的制作工藝上，除了完成該類濾波器制作工藝問題研究，還在該類濾波器可靠性問題的研究上做了實(shí)驗(yàn)和驗(yàn)證，完成了粘片膠特