超寬帶射頻前端聲表面波濾波器的設計.pdf

1、基于聲表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)技術的濾波器由于其結構簡單、性能出色、損耗低、成本低、小型化、可大批量生產等眾多優(yōu)點而受到了人們的廣泛關注，在電子器件的射頻前端，尤其是在手機的射頻前端中都需要使用到大量的SAW濾波器，用于滿足不同通訊協議的需求。近幾年來，隨著新一代通訊標準4G長期演進技術（Long Term Evolution，LTE）的出現，手機射頻前端中的濾波器需要能夠實現更大的帶寬以滿足LTE頻

2、段的需求，對于超寬帶射頻前端SAW濾波器的研究如今已經成為了一個熱門的課題。
　　濾波器的電路主要是由數個諧振器構成，而SAW諧振器能夠實現的最大帶寬主要取決于諧振器中壓電材料的機電耦合系數K2，因此本文主要針對提高SAW濾波器的帶寬，對兩種擁有較高K2的新型壓電材料進行研究：鈮酸鋰晶體絕緣體(Lithium Niobate on Insulator，LNOI)的薄膜單晶和弛豫鐵電單晶鈮銦鎂酸鉛PIMNT。首先，通過使用有限元法（

3、Finite Element Method,FEM）的仿真軟件COMSOL，分別建立兩種使用不同壓電材料的單端SAW諧振器的仿真模型，研究該諧振器模型在不同電極的材料與厚度、不同壓電材料的厚度以及不同歐拉角情況下的SAW傳播性能，并通過實驗進行SAW諧振器的制備，將測量結果與仿真結果進行比較以確保仿真結果的精確性與可行性。然后根據獲得的SAW諧振器的性能，以傳統(tǒng)的梯形濾波器電路為基礎進行SAW濾波器電路的設計與研究。通過使用電路模擬軟件