高頻低損耗聲表面波器件研制.pdf

1、聲表面波（SAW)是沿物體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?，是超聲學(xué)和電子學(xué)相結(jié)合的一門學(xué)科。聲表面波器件是新一代信息系統(tǒng)不可或缺的關(guān)鍵器件，在系統(tǒng)綜合性能指標(biāo)有重要影響。隨著現(xiàn)代化信息系統(tǒng)向高速、遠(yuǎn)程、高精度、多目標(biāo)、智能化等方向的發(fā)展，在沿著聲表面波傳播的路徑上，可以對聲表面波進(jìn)行取樣和處理，因此可以用聲表面波去模擬電子學(xué)的各種功能，這種特性使得其在通信、導(dǎo)航等信息交互領(lǐng)域得以迅速推廣。目前整機(jī)系統(tǒng)將信號(hào)處理頻段由P波段直接推進(jìn)到了L波段/S波段，

2、從而減少接收機(jī)前端的噪聲，現(xiàn)有的聲表面波器件存在頻率、插入損耗與系統(tǒng)信號(hào)處理性能要求不符的情況，需要進(jìn)一步提高頻率，降低插入損耗。
　　本論文正是針對上述問題，以高頻低損耗聲表面波器件為主要的研究對象，對理論模型進(jìn)行分析，從技術(shù)原理的研究出發(fā)，對設(shè)計(jì)、工藝、材料等方面進(jìn)行詳盡的討論和研究。主要內(nèi)容為：
　　1．研究高性能復(fù)合壓電材料，提高壓電耦合系數(shù)使得電域與機(jī)械域間能量交換的程度提高；滿足系統(tǒng)對于減小尺寸的要求，提高材料介

3、電常數(shù)從而降低諧振器的尺寸；擬研究復(fù)合壓電薄膜，通過高聲速傳播的模式進(jìn)一步縮小器件體積﹑更薄。
　　2．研究高頻低損耗聲表器件設(shè)計(jì)技術(shù)，主要通過聲表面波器件的精確分析技術(shù)，形成具有較高精確度的聲表面波器件設(shè)計(jì)技術(shù)，具備L波段聲表面波器件的設(shè)計(jì)能力；利用叉指換能器(IDT)指條反射聲波來限定和控制聲能量。
　　3．研究高頻低損耗聲表器件工藝技術(shù)，主要對關(guān)鍵工序曝光、鍍膜進(jìn)行研究，提高工序重復(fù)性、一致性、可靠性，研制頻率為2.3