基于固相反應(yīng)的半固著磨具及其對藍(lán)寶石拋光的探索研究.pdf

1、為解決藍(lán)寶石基片在研磨拋光過程中，表面容易產(chǎn)生劃痕、裂紋、亞表面損傷、去除率低等問題，本文基于固相反應(yīng)的半固著軟質(zhì)磨粒加工技術(shù)，研發(fā)了一種具有優(yōu)良拋光性能的半固著磨具，研究其關(guān)鍵制作技術(shù)，檢測半固著磨具機(jī)械性能。最后通過藍(lán)寶石拋光實驗測試半固著磨具加工性能。本文主要研究工作包括:
　　研究了基于固相反應(yīng)的半固著磨具加工機(jī)理，分析了藍(lán)寶石晶片發(fā)生固相反應(yīng)的條件及影響因素。根據(jù)化學(xué)熱力學(xué)原理，利用HSC Chemistry軟件仿真驗證

2、SiO2、CeO2磨粒與藍(lán)寶石晶片發(fā)生固相反應(yīng)的可能性。
　　研究了半固著磨具的制作工藝及磨具質(zhì)量影響因素。根據(jù)半固著磨具的技術(shù)指標(biāo)，選擇制作磨具的原材料:兩種不同的磨粒(SiO2和CeO2)，結(jié)合劑及造孔劑等。以磨具硬度為目標(biāo)函數(shù)，采用回歸法設(shè)計磨具配比。對磨具的原材料混和、固定成型、干燥硬化及表面修整等工藝進(jìn)行分析研究，制作出符合要求的半固著磨具。分析了半固著磨具的制作流程及影響磨具質(zhì)量的關(guān)鍵因素。
　　檢測了兩組半固著