半固著磨具磨損和修整技術的研究.pdf

1、磨粒加工是先進陶瓷超精密加工的一種重要方法。但目前眾多磨粒加工方法都難以同時滿足高效、精密、低/無損傷的加工要求。浙江工業(yè)大學超精密加工研究中心提出了一種半固著磨粒加工方法，可以降低甚至消除大顆粒造成的表面損傷，實現(xiàn)高效、精密加工。本文主要針對此種方法所開發(fā)的半固著磨具，通過試驗和計算機仿真對其加工性能的失效形式、磨損和堵塞的影響因素、耐用度和修整技術等方面進行了研究。 為了解半固著磨具特性，通過顯微觀測和試驗分析對半固著磨具的

2、微觀組織、物理特性、加工特性等進行了研究。半固著磨具的主要材料去除形式是以兩體磨損為主，結合三體磨損的一種復合材料去除形式。其邵氏硬度和彈性模量值分別在50-61和90-150Mpa之間。在相同試驗條件下，半固著磨具的加工效率和加工質量都高于游離磨料加工。 以單晶硅、氮化硅為加工材料，在干、濕態(tài)下進行了研磨試驗研究。半固著磨具加工性能的主要失效形式是結合劑破碎磨損和嵌入式堵塞，但在不同的工件材料和加工工藝下有所區(qū)別。磨具由于磨損

3、和堵塞，加工能力和加工質量不斷下降，需要進行修整。 通過單因素實驗和正交實驗對半固著磨具的磨損和堵塞的影響因素進行了研究。分析了半固著磨具組織結構和加工工藝的影響規(guī)律，優(yōu)化了加工工藝，建立了耐用度的度量指標、提出了耐用度的判別方式和提高措施。 結合計算機仿真對平面研磨中半固著磨具的修整技術進行了研究。確定了適合于半固著磨具的修整方式和修整工具，分析了修整工藝參數對加工性能的影響規(guī)律。試驗和仿真結果表明：采用修整環(huán)型金剛石