版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、藍(lán)寶石單晶體是重要的光學(xué)元件、半導(dǎo)體襯底材料,廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國防和科研等領(lǐng)域。但是藍(lán)寶石硬度高、化學(xué)穩(wěn)定性好,難以用機(jī)械化學(xué)拋光等接觸式方法拋光。因此激光拋光是有望代替接觸式拋光藍(lán)寶石的拋光方法之一。 本文作者在總結(jié)其他學(xué)者對(duì)激光拋光機(jī)理以及激光加工藍(lán)寶石技術(shù)研究的基礎(chǔ)上,從激光與物質(zhì)的相互作用機(jī)制角度出發(fā),理論分析了短波長激光拋光藍(lán)寶石過程激光與藍(lán)寶石相互作用,總結(jié)了激光與物質(zhì)的熱作用為主的波長為532nm綠光激光激光拋光藍(lán)
2、寶石過程的材料去除機(jī)理和光化學(xué)作用為主的波長為355nm紫外光激光拋光藍(lán)寶石過程的材料去除機(jī)理。并推導(dǎo)建立了綠光激光激光拋光藍(lán)寶石過程不同激光工藝參數(shù)與材料熔化蒸發(fā)去除量的關(guān)系。通過在掃描電鏡(SEM)、偏光顯微鏡下觀測不同激光拋光工藝條件下的藍(lán)寶石表面形貌,實(shí)驗(yàn)研究分析波長為532nm的綠光激光和紫外光激光拋光藍(lán)寶石過程材料去除機(jī)理,以及激光能量、掃描速度等工藝參數(shù)對(duì)其影響作用。通過研究,本文得出如下主要結(jié)論: 1.理論推導(dǎo)得
3、出綠光激光與藍(lán)寶石相互作用以熱作用為主。單脈沖激光蒸發(fā)去除材料的最大深度與激光能量成正比、與聚焦光斑以及激光束入射角的余弦成反比。紫外激光與藍(lán)寶石相互作用以多光子吸收的光化學(xué)作用為主。 2.在綠光激光與紫外光激光能量分別達(dá)到20mJ和0.1mJ時(shí)藍(lán)寶石表面材料開始去除,而激光能量分別達(dá)到40mJ和0.5mJ藍(lán)寶石表面材料的去除量急劇增大。 3.實(shí)驗(yàn)研究得出綠光激光拋光藍(lán)寶石過程熱作用占主要地位,存在破碎去除和熔化、蒸發(fā)去
4、除兩種機(jī)理。紫外光激光拋光藍(lán)寶石光化學(xué)作用所引起的組織細(xì)化為主要的去除機(jī)理,同時(shí)存在微破機(jī)理,與符合理論分析結(jié)果較一致。 4.綠光激光拋光藍(lán)寶石在激光能量為20mJ、40mJ的情況下,材料去除機(jī)理以斷裂破碎為主,同時(shí)存在輕微熔化機(jī)理。激光能量為60mJ時(shí),材料去除機(jī)理主要為熔化、蒸發(fā)。紫外光激光拋光藍(lán)寶石在激光能量為0.5mJ時(shí),材料去除機(jī)理以微破碎為主,激光能量為0.9mJ時(shí),材料除了微破碎去除機(jī)理外,還出現(xiàn)少量組織細(xì)化形貌。
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 短波長激光拋光藍(lán)寶石工藝過程研究.pdf
- 紫外激光拋光藍(lán)寶石晶體過程研究.pdf
- 綠光激光拋光藍(lán)寶石晶體的熱作用機(jī)制研究.pdf
- 紫外激光拋光藍(lán)寶石的機(jī)理及工藝規(guī)律研究.pdf
- 單晶藍(lán)寶石水合拋光機(jī)理與試驗(yàn)研究.pdf
- 藍(lán)寶石單晶體裂紋振動(dòng)擴(kuò)展機(jī)理研究.pdf
- 藍(lán)寶石襯底拋光速率的研究.pdf
- 藍(lán)寶石拋光樹脂銅盤的制備及其性能研究.pdf
- 超薄藍(lán)寶石晶片高效拋光夾持方法研究.pdf
- 水熱法合成ZnO晶體和藍(lán)寶石晶體.pdf
- 注入離子的藍(lán)寶石晶體光學(xué)特性的研究.pdf
- 改性硅溶膠制備及其對(duì)藍(lán)寶石拋光性能的研究.pdf
- 藍(lán)寶石平面磁流變化學(xué)拋光試驗(yàn)研究.pdf
- 藍(lán)寶石動(dòng)態(tài)腐蝕行為及機(jī)理.pdf
- 藍(lán)寶石晶體生長與LED應(yīng)用研究.pdf
- 泡生法藍(lán)寶石晶體熱場研究分析.pdf
- 藍(lán)寶石晶片化學(xué)機(jī)械拋光液的研制.pdf
- 導(dǎo)模法生長藍(lán)寶石晶體工藝及性能研究.pdf
- 藍(lán)寶石晶體生長設(shè)備稱重系統(tǒng)設(shè)計(jì)和研究.pdf
- 藍(lán)寶石鑒賞
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論