磷化銦基梯度漸變結(jié)構(gòu)制備及光學(xué)特性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本論文通過結(jié)合二元光學(xué)、多光束激光干涉光刻和電化學(xué)刻蝕技術(shù)，充分利用其自身的優(yōu)勢，采用經(jīng)典電磁場理論，依據(jù)介電常數(shù)和折射率的關(guān)系，設(shè)計制作一種折射率在一定區(qū)域內(nèi)漸變的結(jié)構(gòu)，并摸索出一種適于磷化銦梯度漸變結(jié)構(gòu)制備的新方法，使其對光具有較高會聚或發(fā)散功能的磷化銦紅外器件。
　　介紹了光刻加工技術(shù)與二元光學(xué)，根據(jù)磷化銦材料的紅外特性，從理論上研究了采用光刻和電化學(xué)刻蝕磷化銦控制其折射率的方案?；诘湫凸鈱W(xué)元件對波面的作用，設(shè)計了對光具有

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