半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室新風(fēng)系統(tǒng)節(jié)能方法研究.pdf

1、在半導(dǎo)體代加工工廠內(nèi)，新風(fēng)系統(tǒng)是十分重要的。它為潔凈室提供合適溫濕度范圍內(nèi)的干凈空氣，滿足了關(guān)鍵設(shè)備的凈化要求。新風(fēng)設(shè)備全年不間斷運行，需要消耗水、電、氣等能源。隨著生產(chǎn)廠房的不斷擴大以及設(shè)備的不斷增多，新風(fēng)系統(tǒng)消耗的能源也越來越多。為了節(jié)能減排，同時也為公司降低運營成本，因此對新風(fēng)系統(tǒng)進行節(jié)能方法的研究。
　　新風(fēng)處理是一個復(fù)雜的流程，因為它不僅要去除顆粒，而且要控制好空氣的溫濕度。能量的消耗會根據(jù)室外的空氣狀態(tài)和室內(nèi)新風(fēng)的使用

2、進行調(diào)整。以前新風(fēng)系統(tǒng)的節(jié)能研究是換氣次數(shù)、設(shè)備發(fā)熱以及空氣傳輸?shù)淖枇Α，F(xiàn)在的研究重點是空調(diào)機的效率。不過理論研究遠遠多于實際操作，實際運行案例是缺乏的。不同的系統(tǒng)間能源的聯(lián)系也不夠緊密。
　　各個公司新風(fēng)系統(tǒng)的處理流程基本相同。本文從新風(fēng)機組的運行出發(fā)，結(jié)合國內(nèi)外的資料和自身的工作實踐，對新風(fēng)處理流程進行分類，從三方面進行能量使用和損耗的分析，分別是風(fēng)量，過濾器使用以及溫濕度。為了驗證節(jié)能方法的可行性并找到空調(diào)機最佳的運行參數(shù)，

3、改變空調(diào)機的參數(shù)并且比較能量的使用數(shù)據(jù)。
　　動力系統(tǒng)是一個整體。單個系統(tǒng)的運行會消耗大量的能源，同時會浪費能源。水的比熱容很大，也容易通過水實現(xiàn)能量交換。新風(fēng)系統(tǒng)和冷凍水系統(tǒng)中都有許多水的環(huán)節(jié)。兩者可以通過水進行能源互補，為新風(fēng)系統(tǒng)找到新的節(jié)能方法。本研究較完整的給出改造方案，利用焓濕圖、熱力學(xué)和流體力學(xué)公式進行節(jié)能計算。然后，通過特定新風(fēng)系統(tǒng)改造進行可行性分析。最后記錄新風(fēng)機改造前后的運行數(shù)據(jù)，進行比較并驗證改造方案的效果。<