脈沖電壓測量單元設(shè)計.pdf

1、密級桂林電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文題目脈沖電壓測量單元設(shè)計（英文）（英文）TheDesignofPulseVoltageMeasuringUnit研究生學(xué)號:122081822研究生姓名:唐源指導(dǎo)教師姓名、職務(wù)指導(dǎo)教師姓名、職務(wù):李智教授申請學(xué)位門類:工學(xué)碩士學(xué)科、專學(xué)科、專業(yè)名稱:儀器科學(xué)與技術(shù)提交論文日期:2015年4月論文答辯日期:2015年6月摘要I摘要半導(dǎo)體器件廣泛應(yīng)用于航空航天、交通運輸、電力等重點領(lǐng)域，而我國半導(dǎo)體的材料、制

2、造工藝、生產(chǎn)技術(shù)等與美國等發(fā)達國家相比，仍有比較大的差距。為加快國內(nèi)半導(dǎo)體器件工藝等技術(shù)的發(fā)展，需要研制脈沖電壓測量裝置，用來測試半導(dǎo)體器件的動態(tài)參數(shù)。本系統(tǒng)采用了LXI總線技術(shù)，因此能夠快速地組建分布式測試系統(tǒng)。目前，國際上脈沖電壓測量單元并不同時具備高速和高分辨率的功能特征，針對此現(xiàn)狀，需要研制高速高精度的脈沖電壓測量單元。本論文根據(jù)系統(tǒng)指標(biāo)要求，討論了脈沖電壓測量單元的主要組成部分及其實現(xiàn)方式，通過分析和比較提出了脈沖電壓測量單元

3、的系統(tǒng)設(shè)計方案。本設(shè)計主要完成了模擬前端電路設(shè)計、信號采集存儲與控制電路設(shè)計、LXI總線接口電路設(shè)計三大部分的工作。模擬前端電路主要是對模擬輸入信號進行調(diào)理，使其能夠在模數(shù)轉(zhuǎn)換器輸入信號的范圍之內(nèi)。該電路主要包括無源衰減網(wǎng)絡(luò)電路、阻抗變換電路、后級放大電路、ADC驅(qū)動電路等。信號采集存儲與控制電路采用采樣率為160MSas的ADS4126作為模數(shù)轉(zhuǎn)換器，采用FPGA對采樣數(shù)據(jù)進行接收與緩存，設(shè)計并完成了脈沖電壓信號的實時檢測電路。LXI