光電矩陣編碼器標(biāo)定方法的研究.pdf

1、光電編碼器作為一種高精度的角度傳感器，在軍事、航天、醫(yī)療、工業(yè)生產(chǎn)等各領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。隨著精密測(cè)量技術(shù)發(fā)展，光電編碼器的精度不斷提高，對(duì)光電編碼器精度的標(biāo)定也越來(lái)越受到重視。鑒于現(xiàn)有的光電編碼器標(biāo)定方法并未對(duì)標(biāo)定誤差的補(bǔ)償進(jìn)行研究且大多存在標(biāo)定過(guò)程操作復(fù)雜，效率低，自動(dòng)化程度低等不足，本文開(kāi)展了基于誤差補(bǔ)償?shù)母咝А⒏呔?、高自?dòng)化的光電矩陣編碼器標(biāo)定方法的研究。
　　本文首先分析了光電編碼器標(biāo)定的基本原理，在直接比較法的基礎(chǔ)上，建立

2、了一種基于誤差補(bǔ)償且以雙頻激光干涉儀測(cè)量角度為基準(zhǔn)的光電矩陣編碼器標(biāo)定方法。其次，本文依據(jù)所研究的光電矩陣編碼器標(biāo)定方法，構(gòu)建了光電矩陣編碼器標(biāo)定系統(tǒng)，詳細(xì)介紹了標(biāo)定系統(tǒng)的組成及各部分功能的實(shí)現(xiàn)。再次，本文對(duì)標(biāo)定系統(tǒng)的誤差來(lái)源進(jìn)行了深入分析，提出了軸系轉(zhuǎn)角誤差的檢測(cè)方案，并進(jìn)行了檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。根據(jù)軸系轉(zhuǎn)角誤差的檢測(cè)結(jié)果，建立了誤差補(bǔ)償模型，同時(shí)分析了多種誤差補(bǔ)償模型的算法，并通過(guò)補(bǔ)償實(shí)驗(yàn)對(duì)模型的補(bǔ)償效果進(jìn)行了對(duì)比驗(yàn)證。
　　最后，本文