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1、GaN基 LED具有體積小,壽命長(zhǎng),發(fā)光效率高,環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)。隨著藍(lán)綠光LED的工藝和結(jié)構(gòu)日益成熟和完善,GaN基紫外LED的研究引起了更多人的關(guān)注。但是對(duì)于短波長(zhǎng)紫外LED而言,仍存在著襯底不匹配,高Al組分生長(zhǎng)困難,p型摻雜困難等一系列難題,所以GaN基紫外LED的發(fā)光效率目前還很低,不能滿足商業(yè)需求,提高GaN基紫外LED的光電性能尤為重要。本文利用MOCVD系統(tǒng)在藍(lán)寶石襯底上制備GaN基LED,主要通過(guò)光致發(fā)光和X射線衍射等測(cè)試手
2、段以及利用Origin軟件進(jìn)行分析,研究量子阱不同結(jié)構(gòu)以及雜質(zhì)的存在對(duì)LED發(fā)光性能的影響。
1.適當(dāng)范圍內(nèi),阱寬增加,LED發(fā)光強(qiáng)度會(huì)提高,這是因?yàn)橼鍖幼儗捠垢嗟妮d流子被俘獲到量子阱中,發(fā)光亮度增大,然而阱寬太寬會(huì)使電子空穴波函數(shù)分離嚴(yán)重,降低輻射復(fù)合效率。研究表明在量子阱阱層生長(zhǎng)時(shí)間216 s時(shí),LED發(fā)光效率最大。
2.增加量子阱阱層Al組分含量,LED的發(fā)光效率會(huì)先降低后增加。由于壘層與阱層間晶格失配增大,
3、結(jié)晶質(zhì)量會(huì)變差,造成亮度減弱;另一方面,Al組分增加,量子阱阱深變大,俘獲載流子的能力變強(qiáng),會(huì)提高載流子復(fù)合效率。實(shí)驗(yàn)表明,Al組分為5%時(shí),發(fā)光效率最優(yōu),若要生長(zhǎng)更短波長(zhǎng)的紫外LED,Al組分含量需要提高。
3.利用高斯分峰的方法分析了紫外 LED的光致發(fā)光譜,根據(jù)峰值波長(zhǎng)的位置分析得到超晶格中存在CN淺能級(jí)受主雜質(zhì),影響了發(fā)光效率。超晶格導(dǎo)致的雙峰現(xiàn)象嚴(yán)重影響了 LED發(fā)光波長(zhǎng)的一致性,我們可以通過(guò)對(duì)超晶格阱層 Al組分進(jìn)
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