用于全自動引線鍵合設備的壓電陶瓷線夾研究與設計.pdf

1、在集成電路芯片與外部引線的連接方式中，引線鍵合技術是目前最廣泛使用的技術之一。全自動引線鍵合機是半導體封裝中一個關鍵的設備，如今我們生活中，不管是生活常用電子產(chǎn)品還是工業(yè)制造電子設備，體積都有越來越小的趨勢，因此對全自動引線鍵合機鍵合的速度和精度提出了更高的要求，帶來了更大的挑戰(zhàn)。而引線線夾是引線鍵合設備中控制引線傳送的關鍵部件之一。線夾的運動速度和張合量大小是影響線弧一致性的關鍵因素之一，并且也直接影響半導體芯片的鍵合質量和鍵合的效率

2、。本文從分析現(xiàn)在市場上存在的不同驅動類型的線夾，選擇了壓電式驅動線夾?，F(xiàn)在國內(nèi)線夾主要使用的是壓電疊層式線夾，在對比疊層壓電陶瓷片和壓電雙晶片的優(yōu)缺點后，選擇了目前很少被研究的壓電雙晶片型線夾。主要的研究工作如下：
　　1)分析壓電陶瓷的一些基本特性以及一些重要的材料參數(shù)，根據(jù)引線線夾工作環(huán)境和要求，選擇合適的壓電致動器結構以及相適應的壓電材料。根據(jù)選擇的壓電雙晶片式致動器，確定恰當?shù)恼駝幽Ｊ?、支撐方式以及壓電雙晶片的結構模式。<

3、br>　　2)通過對d型壓電雙晶片進行理論分析，總結了對壓電雙晶片驅動位移、驅動力、剛度以及固有頻率的一些影響因素。主要是從壓電雙晶片長度、厚度以及寬度方面來考慮，分別分析了單個因素對驅動位移和固有頻率等重要特性的影響。
　　3)根據(jù)線夾基本要求，設計了壓電雙晶片式的線夾致動器結構，改良了一種電氣連接方式，并且根據(jù)設計的致動器結構相應的設計了整個線夾裝置。此外從驅動電源的電壓放大、功率放大、RC放電回路以及外電路保護電路四個方面著