TiO2薄膜的制備及電學性能研究.pdf

1、近年來，TiO2成為比較熱門的薄膜材料。它屬于二元過渡金屬氧化物半導體材料，在電學、磁學、光學等研究領域，由于其獨特的性質，在光催化、憶阻器、太陽能電池等許多方面有重要的應用前景。
　　二氧化鈦主要有三種晶型，板鈦礦、銳鈦礦和金紅石。其中板鈦礦比較不穩(wěn)定，在自然狀態(tài)下存在較少，而銳鈦礦和金紅石較穩(wěn)定，應用比較廣泛。本文主要對不同條件和參數(shù)下磁控濺射制備得到不同結構的TiO2薄膜進行了分析，總結并優(yōu)化了薄膜的制備工藝，研究了不同晶體

2、結構間的轉變機制，并對其電學性能進行了研究，分析制備條件對薄膜特性的影響。主要有以下幾方面內容：
　　利用磁控濺射鍍膜的方法，在不同氧分壓、不同濺射溫度下制備了一系列的TiO2薄膜。利用拉曼光譜、原子力顯微鏡，XPS光電子能譜分析儀，研究了薄膜的晶體結構、表明形貌、和價鍵分析。
　　通過分析，發(fā)現(xiàn)氧含量的變化對二氧化鈦的晶型有一定的影響。在較高的氧分壓下，二氧化鈦更多地以金紅石的結構生成；在較低的溫度下，二氧化鈦更多地以銳鈦