TiO-,2-薄膜的制備及其光學(xué)性能的研究.pdf

1、TiO<,2>的化學(xué)性質(zhì)比較穩(wěn)定且成本低、無(wú)毒，使它成為最有應(yīng)用潛力的一種光催化劑。納米技術(shù)的出現(xiàn)為T(mén)iO<,2>的光催化領(lǐng)域注入了新的活力，納米TiO<,2>具有明顯的表面效應(yīng)和量子尺寸效應(yīng)，從而使其在光作用下有更強(qiáng)的氧化．還原能力。為了提高光催化劑的催化性能，使其能夠充分利用太陽(yáng)光，各種新型的光催化材料不斷被研制出來(lái)。目前階段研究的半導(dǎo)體催化劑除了TiO<,2>的改性催化劑外，其他的還有氧氮化物、硫化物、鈦酸鹽、鈮酸鹽等，但從成本和

2、穩(wěn)定性來(lái)說(shuō)，光催化劑以TiO<,2>應(yīng)用最廣。 本文采用直流磁控濺射法在普通載波片襯底上制備了TiO<,2>薄膜。通過(guò)改變工藝參數(shù)，在不同氧分壓下制備了TiO<,2>薄膜。利用雙靶共濺射的方法，對(duì)TiO<,2>薄膜進(jìn)行了金屬離子的摻雜。研究了氧分壓對(duì)薄膜表面形貌、化學(xué)組分和光吸收性能的影響，以及不同金屬離子摻雜對(duì)TiO<,2>薄膜的表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)和光催化特性的影響。 研究發(fā)現(xiàn)，隨著氧分壓的增大，TiO<,2>薄膜表面