高頻復(fù)合超聲掃描探針顯微鏡系統(tǒng)研制及應(yīng)用研究.pdf

1、納米級(jí)超高分辨率顯微成像是檢測(cè)納米尺度結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的重要手段，尤其是能同時(shí)表征科學(xué)樣品和工業(yè)產(chǎn)品表面及內(nèi)部納米結(jié)構(gòu)信息的顯微成像儀器，在材料、醫(yī)學(xué)、生物工程、納米制造等基礎(chǔ)研究與應(yīng)用工程領(lǐng)域具有至關(guān)重要的作用。本文在掃描探針顯微鏡的基礎(chǔ)上，結(jié)合超聲波的特性研發(fā)出來(lái)一種新型顯微成像技術(shù)——高頻復(fù)合超聲掃描探針顯微鏡，在獲得樣品形貌像的同時(shí)，能無(wú)損地獲得樣品內(nèi)部納米級(jí)結(jié)構(gòu)的聲學(xué)像。本論文用標(biāo)準(zhǔn)定標(biāo)物及設(shè)計(jì)的樣品對(duì)高頻復(fù)合超聲掃描探針顯微鏡的常

2、用技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)；通過(guò)測(cè)量，儀器的橫向分辨率及垂直分辨率可達(dá)0.13nm，空間定位精度可達(dá)0.03nm，最大掃描范圍可達(dá)105μm×105μm，內(nèi)部超聲圖像分辨率小于50nm，內(nèi)部超聲檢測(cè)深度至少達(dá)到100μm。本文還設(shè)計(jì)了不同領(lǐng)域的樣品進(jìn)行應(yīng)用研究，研究分析采集到的樣品圖像，并建立相應(yīng)領(lǐng)域的樣品數(shù)據(jù)庫(kù)，為以后儀器的研發(fā)及應(yīng)用提供了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。高頻復(fù)合超聲掃描探針顯微鏡作為一種重要的測(cè)量?jī)x器，是納米尺度結(jié)構(gòu)和性質(zhì)檢測(cè)的重要工具，在物理材