激光致Al-TiO2和Al-MnO2含能薄膜等離子體特性研究.pdf

1、本文主要針對(duì)激光誘導(dǎo)含能薄膜等離子體特性在激光驅(qū)動(dòng)飛片技術(shù)中的作用探索，研究TiO2-Al、MnO2-Al復(fù)合薄膜調(diào)制周期、激光脈沖能量和延遲時(shí)間對(duì)激光誘導(dǎo)TiO2-Al和MnO2-Al復(fù)合薄膜等離子體特性的影響。并對(duì)比研究激光脈沖能量、復(fù)合薄膜調(diào)制周期對(duì)TiO2-Al-Al2O3-Al復(fù)合飛片和MnO2-Al-Al2O3-Al復(fù)合飛片飛片速度的影響。
　　本文使用真空磁控濺射技術(shù)制備TiO2-Al、MnO2-Al復(fù)合薄膜和TiO

2、2-Al-Al2O3-Al、MnO2-Al-Al2O3-Al復(fù)合飛片，通過(guò)SEM、XRD等方法對(duì)復(fù)合薄膜進(jìn)行表征，結(jié)果表明:復(fù)合薄膜不同材料膜層的分界面清晰可見(jiàn)，具有明顯的層狀結(jié)構(gòu)。運(yùn)用原子發(fā)射光譜研究激光誘導(dǎo)TiO2-Al和MnO2-Al復(fù)合薄膜等離子體特性，結(jié)果表明:激光脈沖能量一定時(shí)，延遲時(shí)間在0.50μs～1.9μs范圍內(nèi)，TiO2-Al和MnO2-Al復(fù)合薄膜等離子體電子溫度隨著延遲時(shí)間的上升而先增大后減小，TiO2-Al和M

3、nO2-Al復(fù)合薄膜等離子體電子密度隨著延遲時(shí)間的增大而減小。延遲時(shí)間一定時(shí)，激光能量在67mJ～224mJ范圍內(nèi)，TiO2-Al和MnO2-Al復(fù)合薄膜等離子體電子溫度隨著激光脈沖能量的增大而先增大后減小，TiO2-Al和MnO2-Al復(fù)合薄膜等離子體電子密度隨著激光脈沖能量的增大而先增大后減小。
　　利用PVDF壓電傳感器法測(cè)量飛片平均速度，運(yùn)用PDV測(cè)速技術(shù)測(cè)量復(fù)合飛片速度，結(jié)果表明:在一定激光能量密度范圍內(nèi)，TiO2-Al