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文檔簡介
1、該文提出了一種等離子氫化的物理方法,采用離子束分析方法研究Zr金屬薄膜在氫等離子體作用下的氫化特性.通過比較分子吸氫和等離子吸氫,發(fā)現(xiàn)由于高流的氫原子和離子作用于表面和氫原子在表面層和晶格中的擴(kuò)散幾率遠(yuǎn)高于氫原子在表面的再結(jié)合逸出幾率的結(jié)果,氫等離子體作用下的金屬氫化速率遠(yuǎn)高于分子氫化.在室溫和～2Pa氫壓的DC放電條件下,10分鐘內(nèi)樣品的氫化濃度可達(dá)飽和值66.67﹪,遠(yuǎn)大于該壓強(qiáng)下的氣體氫化濃度.在結(jié)合現(xiàn)有的分子吸氫的動(dòng)力學(xué)方程的基
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