低照度CMOS圖像傳感器綜合性能測(cè)試系統(tǒng)研制.pdf

1、低照度CMOS器件由于體積小、可晝夜工作等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛應(yīng)用，信噪比、增益、動(dòng)態(tài)范圍、滿阱電荷和光譜響應(yīng)等性能參數(shù)是CMOS成像器件的重要特性指標(biāo)。本文圍繞低照度CMOS圖像傳感器綜合性能測(cè)試技術(shù)展開(kāi)深入研究，研制了低照度CMOS圖像傳感器綜合性能測(cè)試系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含圖像和噪聲特性測(cè)試子系統(tǒng)以及光譜響應(yīng)測(cè)試子系統(tǒng)。
　　本文首先介紹了低照度CMOS圖像傳感器國(guó)內(nèi)外發(fā)展與研究現(xiàn)狀，闡述了CMOS圖像測(cè)試技術(shù)的研究現(xiàn)狀，同時(shí)研究CMOS

2、圖像傳感器工作原理和低照度CMOS的定義及影響因素;然后根據(jù)低照度CMOS圖像傳感器的測(cè)試需求及性能評(píng)價(jià)方法，設(shè)計(jì)了低照度CMOS綜合性能測(cè)試系統(tǒng)。其中，圖像和噪聲特性測(cè)試子系統(tǒng)所設(shè)計(jì)的大動(dòng)態(tài)范圍積分球均勻光源系統(tǒng)能保證獲得在10-7～104 lx范圍內(nèi)輸出穩(wěn)定的面均勻光源，光譜響應(yīng)測(cè)試子系統(tǒng)選取激光泵浦寬帶光源來(lái)實(shí)現(xiàn)寬光譜測(cè)試，同時(shí)選取雙級(jí)聯(lián)單色儀來(lái)提高出射光的單色性;接著根據(jù)低照度CMOS圖像傳感器性能參數(shù)的測(cè)試要求，搭建了圖像和噪