應(yīng)用于高壓電柜的聲表面波溫度傳感系統(tǒng).pdf

1、高壓電柜是電網(wǎng)中的一種重要設(shè)備，長期工作于高溫高壓的惡劣環(huán)境中，需要一種可靠且經(jīng)濟(jì)的實時測溫系統(tǒng)以保障設(shè)備的正常運行，而聲表面波溫度傳感器具有的無源無線特性恰好適應(yīng)了這種測溫需求。論文以聲表面波技術(shù)為基礎(chǔ)，設(shè)計了一款諧振器型聲表面波溫度傳感器，能夠滿足高壓電柜的現(xiàn)場測溫，并對溫度傳感器制作過程中可能遇到的實際工藝問題，提出了可行的解決方法，實現(xiàn)了該款溫度傳感器的批量生產(chǎn)。
　　論文研究了壓電材料的壓電特性，并根據(jù)聲表面波溫度傳感器

2、對壓電材料的要求，對四種常見的壓電材料進(jìn)行了比較，包括頻率溫度系數(shù)以及用四種材料制作的溫度傳感器對應(yīng)的頻率溫度曲線和回波信號，選擇YX石英作為制作聲表面波溫度傳感器的壓電材料。
　　論文對諧振器型聲表面波溫度傳感器的版圖設(shè)計過程進(jìn)行了研究，并根據(jù)實際需求優(yōu)化了設(shè)計方案，減少了寄生響應(yīng)，提高了器件性能。
　　論文研究了諧振器型聲表面波溫度傳感器的制作工藝，對各道工藝中的工藝流程和工藝難點進(jìn)行了簡單分析，并針對工藝過程中碰到的問

3、題，提出可行的解決方法:從蒸發(fā)工藝和清洗工藝兩方面入手，以解決基片表面鋁膜粘附性差的問題;通過在蒸發(fā)臺合適位置加裝調(diào)整板以解決蒸發(fā)工藝中膜厚均勻性偏低的問題;通過在制作完成的芯片上涂敷SiO2膜保護(hù)芯片，解決器件制作過程中工藝本身或工藝環(huán)境對芯片造成的損壞;從壓焊材料的選擇到壓焊參數(shù)的調(diào)整，確定了單端對諧振器型聲表面波溫度傳感器壓絲工藝的工藝條件，并選擇了壓絲工藝中兩種典型的失效模式進(jìn)行分析，提出了可行的解決方法。
　　論文結(jié)合閱