微射流懸浮噴液供給系統(tǒng)的設(shè)計與實(shí)現(xiàn).pdf

1、超光滑表面拋光技術(shù)是晶體材料獲得納米級粗糙度表面的主要手段，而影響拋光精度的主要因素是微射流拋光液的溫度、壓力、流速。本系統(tǒng)在保證晶體材料拋光質(zhì)量可靠性的前提下，開發(fā)了基于 PLC控制的具有人機(jī)交互界面的微射流懸浮噴液供給系統(tǒng)。研究內(nèi)容包括系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計、硬件電路設(shè)計、PLC軟件程序設(shè)計，設(shè)計了一種對拋光液恒溫、恒壓、恒流供給的儀器。新研制微射流供給系統(tǒng)作用于五軸加工中心,實(shí)現(xiàn)了晶體材料高效率、超光滑表面加工。
　　本文作者根據(jù)微

2、射流懸浮噴液供給系統(tǒng)的設(shè)計要求，主要針對以下幾個方面進(jìn)行了研究：
　　1.溫度控制方面：溫度是影響拋光液性能穩(wěn)定的關(guān)鍵因素，為了保證拋光液活性的極大值，系統(tǒng)工作過程中我們需要對溫度維持恒定。本系統(tǒng)溫控模塊采用超調(diào)制冷熱補(bǔ)償方法對系統(tǒng)進(jìn)行溫度精密調(diào)節(jié)，克服了系統(tǒng)慣量大致使系統(tǒng)延時較長，溫度波動較大的缺點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了溫度精密調(diào)節(jié)，取得了良好閉環(huán)控制效果，溫度控制范圍為15℃～35℃，精度優(yōu)于0.1℃。
　　2.拋光液供給系統(tǒng)液壓控制

3、方面：理論研究表明，液流空化過程中產(chǎn)生的空泡在破裂過程中，瞬間產(chǎn)生高溫、高壓有利于水體進(jìn)行自然水解和鍵合反應(yīng)的進(jìn)行。而壓力的大小影響著液流空化過程。本系統(tǒng)基于 PLC中心控制，通過對壓力傳感器、流量傳感器的信息采集，反饋控制各類控制閥，實(shí)現(xiàn)了壓力在0～3bar連續(xù)可調(diào)的恒壓供給。
　　3.流量控制方面：本文通過實(shí)驗，對流量、壓力傳感器的信號進(jìn)行采集。實(shí)驗表明，在0～3bar的壓力范圍內(nèi)，流量和壓力成線性關(guān)系，這也說明我們可以通過壓