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1、中國科學技術大學碩士學位論文化學氣相法制備氮化物材料姓名:邵雷雷申請學位級別:碩士專業(yè):無機化學指導教師:張祖德2002.5.1!曼型蘭墊查查堂堡主鱟堡堡蘭AbstraetTheaimofthisthesisistodevelopthemethodofChemicalVaporDeposition(CVD)tosynthesizethenanoscalematerialsofmetallicnitridesandone。dimensio
2、nalmaterialsSomecrucialfactorsOilthesynthesisofnanocrystallinesuchasreactiontemperatureandtimewerealsoinvestigatedindetailPowderswithaseriesofscaleswereobtainedbycontrollingthereactiontimeandtemperature1一Nanocrystallines
3、ofCrNwithfccstructurewerepreparedfromthemolecularprecursorssuchasCrCl3ausingchemicalvapordepositiontechniquesBycontrollingthereactiontimeandtempemture,theparticlesrangingfromseveralnanometerstohundredsofnanometerswerepre
4、paredXPS,AASandElementalAnalysiswereusedtofumlerestablishtheratioofatomic2NanocrystallinesofW2NandVNwithfcc—structurewerepreparedfromthemolecularprecursorsusingchemicalvapordepositiontechniquesBycontrollingthereactiontim
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