2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、該文探索了用PLD法在硅襯底上生長LiNbO<,3>薄膜.氧氣氛對生長LN薄膜是必不可少的條件.氧氣壓強(qiáng)、襯底溫度、襯底和靶之間的距離以及激光的重復(fù)頻率對生長LN薄膜有很大的影響,較低的氧氣壓強(qiáng)、較低的激光重復(fù)頻率和較高的襯底溫度會導(dǎo)致缺鋰相LiNb<,3>O<,8>的產(chǎn)生,而襯底和靶之間的距離影響薄膜的取向.通過對LN薄膜生長條件的探索,找到了生長C軸擇優(yōu)取向LN薄膜的優(yōu)化條件:氧氣氛壓強(qiáng)30PA,襯底溫度600℃,襯底和靶的距離4C

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