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文檔簡介
1、微陀螺的廣泛應(yīng)用已經(jīng)給現(xiàn)代生活帶來了重大變革,但如何得到高性能的微陀螺一直是研究的熱點和難點。本文以本教研室研制的蝶翼式微陀螺為研究對象,提出了一種新的提高靈敏度的方法,主要包括:
1.介紹了課題的研究背景,對國內(nèi)外提高微陀螺靈敏度的常用方法進行了調(diào)研,結(jié)合教研室前人的工作,給出了本論文的研究意義。
2.以蝶翼式微陀螺為研究對象,首次運用了六邊形截面斜梁,并簡單闡述了陀螺的總體結(jié)構(gòu)和工作原理。深入分析了六邊形截面斜梁
2、的力學特性,研究了斜梁結(jié)構(gòu)尺寸與蝶翼式微陀螺兩個工作模態(tài)頻率差值,以及工作模態(tài)頻率差值與陀螺靈敏度之間的關(guān)系,提出了通過合理設(shè)計斜梁的尺寸參數(shù)來提高靈敏度的方法。
3.通過理論分析,得到了不同斜梁尺寸對蝶翼式微陀螺兩個工作模態(tài)頻率差值的影響規(guī)律,并最終設(shè)計了樣機的尺寸。描述了蝶翼式微陀螺樣機加工過程中的重要工藝,包括全預(yù)埋掩膜工藝和精密激光修形。
4.研究了不同誤差對蝶翼式微陀螺兩個工作模態(tài)頻率差值的影響,主要包括厚
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